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Caractérisation du mouillage de surfaces micro/nanostructurées par méthode acoustique haute fréquence : application aux traitements humides dans l'industrie de la microélectronique
Virgilio Christophe
2017
Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
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Thèse
Caractérisation ultrasonore de structures à couche et à gradient de contraintes par ondes de surface haute fréquence générées par capteurs MEMS de type IDT -SAW
Deboucq Julien
2012
Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
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Thèse
Détection du facteur d'encrassement par onde de coda ultrasonore lors de la contamination et le nettoyage d'un substrat solide
Chen Bowei
2019
Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Accès restreint jusqu'au 10-07-2021 (confidentialité ou accès intranet)
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Thèse
Génération d'ondes acoustiques de surface par différentes sources lasers : applications à la caractérisation sans contact de défauts
Faëse Frédéric
2013
Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
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