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Caractérisation de couches minces par ondes de surface générées et détectées par sources lasers (Document en Français)
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  • http://ged.univ-valenciennes.fr/nuxeo/site/esupversions/3f543f5f-2b9a-4c14-8a50-247725e0e0edLien brisé : nonDroits d'accès : non autorisé
Droits d'auteur : Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse soumise à l'embargo de l'auteur jusqu'au 14/09/2014 (communication intranet).
Informations sur les contributeurs
Auteur : Fourez Sabrina
Fourez, Sabrina

Nom
Fourez

Prénom
Sabrina

Nationalité
Français



Date de soutenance : 14-05-2013

Directeur(s) de thèse : Ourak Mohamed
Ourak, Mohamed

Nom
Ourak

Prénom
Mohamed


- Jenot Frédéric
Jenot, Frédéric

Nom
Jenot

Prénom
Frédéric



Président du jury : Gindre Marcel
Gindre, Marcel

Nom
Gindre

Prénom
Marcel



Membres du jury : Ourak Mohamed
Ourak, Mohamed

Nom
Ourak

Prénom
Mohamed


- Jenot Frédéric
Jenot, Frédéric

Nom
Jenot

Prénom
Frédéric


- Li Hongwu
Li, Hongwu

Nom
Li

Prénom
Hongwu


- Royer Daniel
Royer, Daniel

Nom
Royer

Prénom
Daniel


- Feuillard Guy
Feuillard, Guy

Nom
Feuillard

Prénom
Guy


- Glorieux Christ
Glorieux, Christ

Nom
Glorieux

Prénom
Christ



Rapporteurs : Feuillard Guy
Feuillard, Guy

Nom
Feuillard

Prénom
Guy


- Glorieux Christ
Glorieux, Christ

Nom
Glorieux

Prénom
Christ




Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
 
Informations générales
Discipline : Électronique. Acoustique et Télécommunications
Classification : Sciences de l'ingénieur

Mots-clés : couches mincesUltrasons lasersMode de RayleighEpaisseurConstantes élastiquesMicrofissuresAdhérenceEléments finis.
essais par ultrasons -- Thèses et écrits académiquesMicroélectronique -- Thèses et écrits académiquesSilicium -- Substrats -- Thèses et écrits académiques

Résumé : Les dépôts effectués sur substrats de silicium sont très courants notamment dans le domaine de la microélectronique. Les propriétés physiques recherchées pour ce type de structures dépendent fortement de celles de la couche. Il apparaît donc essentiel de connaître les paramètres élastiques ainsi que l’épaisseur des films considérés. De plus, la détection de certains défauts concernant la couche est souvent recherchée. L’objectif de ce travail a été de contribuer à la caractérisation de structures du type couche sur substrat. Pour cela, les ultrasons-lasers présentent de nombreux avantages puisqu’ils autorisent entre autres leur contrôle non destructif sans contact. Les ondes acoustiques de surface dans une gamme de fréquence s’étendant jusqu’à 45 MHz ont été utilisées. Nous avons développé différents modèles analytiques et les résultats expérimentaux ont aussi été comparés à certaines simulations par éléments finis. Plus particulièrement, nous avons montré qu’il était possible d’obtenir l’ensemble des paramètres élastiques du substrat et de la couche ainsi que l’épaisseur de cette dernière. Par ailleurs, nous nous sommes aussi intéressés à la détection de certains défauts en régime impulsionnel mais aussi quasi-monochromatique. Des résultats originaux concernant l’effet d’une absence de couche de forme déterminée sur le premier mode de Rayleigh ou bien encore de problèmes d’adhésion ont été présentés. Sur ce dernier point, une méthode innovante permettant de distinguer un fort niveau d’adhésion d’un faible a aussi été introduite.
 
Informations techniques
Type de contenu : Texte
Format : PDF
 
Informations complémentaires
Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-957
Type de ressource : Thèse




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