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Fiche descriptive
Caractérisation de couches minces par ondes de surface générées et détectées par sources lasers (Document en Français)
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Modalités de diffusion de la thèse :
Modalités de diffusion de la thèse :
Auteur : Fourez Sabrina
Date de soutenance : 14-05-2013
Directeur(s) de thèse : Ourak Mohamed
- Jenot Frédéric
Président du jury : Gindre Marcel
Membres du jury : Ourak Mohamed
- Jenot Frédéric
- Li Hongwu
- Royer Daniel
- Feuillard Guy
- Glorieux Christ
Rapporteurs : Feuillard Guy
- Glorieux Christ
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Fourez, Sabrina
Nom
Fourez
Prénom
Sabrina
Nationalité
Français
Date de soutenance : 14-05-2013
Directeur(s) de thèse : Ourak Mohamed
Ourak, Mohamed
Nom
Ourak
Prénom
Mohamed
Jenot, Frédéric
Nom
Jenot
Prénom
Frédéric
Président du jury : Gindre Marcel
Gindre, Marcel
Nom
Gindre
Prénom
Marcel
Membres du jury : Ourak Mohamed
Ourak, Mohamed
Nom
Ourak
Prénom
Mohamed
Jenot, Frédéric
Nom
Jenot
Prénom
Frédéric
Li, Hongwu
Nom
Li
Prénom
Hongwu
Royer, Daniel
Nom
Royer
Prénom
Daniel
Feuillard, Guy
Nom
Feuillard
Prénom
Guy
Glorieux, Christ
Nom
Glorieux
Prénom
Christ
Rapporteurs : Feuillard Guy
Feuillard, Guy
Nom
Feuillard
Prénom
Guy
Glorieux, Christ
Nom
Glorieux
Prénom
Christ
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Discipline : Électronique. Acoustique et Télécommunications
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : couches mincesUltrasons lasersMode de RayleighEpaisseurConstantes élastiquesMicrofissuresAdhérenceEléments finis.
essais par ultrasons -- Thèses et écrits académiquesMicroélectronique -- Thèses et écrits académiquesSilicium -- Substrats -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Les dépôts effectués sur substrats de silicium sont très courants notamment dans le domaine de la microélectronique. Les propriétés physiques recherchées pour ce type de structures dépendent fortement de celles de la couche. Il apparaît donc essentiel de connaître les paramètres élastiques ainsi que l’épaisseur des films considérés. De plus, la détection de certains défauts concernant la couche est souvent recherchée. L’objectif de ce travail a été de contribuer à la caractérisation de structures du type couche sur substrat. Pour cela, les ultrasons-lasers présentent de nombreux avantages puisqu’ils autorisent entre autres leur contrôle non destructif sans contact. Les ondes acoustiques de surface dans une gamme de fréquence s’étendant jusqu’à 45 MHz ont été utilisées. Nous avons développé différents modèles analytiques et les résultats expérimentaux ont aussi été comparés à certaines simulations par éléments finis. Plus particulièrement, nous avons montré qu’il était possible d’obtenir l’ensemble des paramètres élastiques du substrat et de la couche ainsi que l’épaisseur de cette dernière. Par ailleurs, nous nous sommes aussi intéressés à la détection de certains défauts en régime impulsionnel mais aussi quasi-monochromatique. Des résultats originaux concernant l’effet d’une absence de couche de forme déterminée sur le premier mode de Rayleigh ou bien encore de problèmes d’adhésion ont été présentés. Sur ce dernier point, une méthode innovante permettant de distinguer un fort niveau d’adhésion d’un faible a aussi été introduite.
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : couches mincesUltrasons lasersMode de RayleighEpaisseurConstantes élastiquesMicrofissuresAdhérenceEléments finis.
essais par ultrasons -- Thèses et écrits académiquesMicroélectronique -- Thèses et écrits académiquesSilicium -- Substrats -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Les dépôts effectués sur substrats de silicium sont très courants notamment dans le domaine de la microélectronique. Les propriétés physiques recherchées pour ce type de structures dépendent fortement de celles de la couche. Il apparaît donc essentiel de connaître les paramètres élastiques ainsi que l’épaisseur des films considérés. De plus, la détection de certains défauts concernant la couche est souvent recherchée. L’objectif de ce travail a été de contribuer à la caractérisation de structures du type couche sur substrat. Pour cela, les ultrasons-lasers présentent de nombreux avantages puisqu’ils autorisent entre autres leur contrôle non destructif sans contact. Les ondes acoustiques de surface dans une gamme de fréquence s’étendant jusqu’à 45 MHz ont été utilisées. Nous avons développé différents modèles analytiques et les résultats expérimentaux ont aussi été comparés à certaines simulations par éléments finis. Plus particulièrement, nous avons montré qu’il était possible d’obtenir l’ensemble des paramètres élastiques du substrat et de la couche ainsi que l’épaisseur de cette dernière. Par ailleurs, nous nous sommes aussi intéressés à la détection de certains défauts en régime impulsionnel mais aussi quasi-monochromatique. Des résultats originaux concernant l’effet d’une absence de couche de forme déterminée sur le premier mode de Rayleigh ou bien encore de problèmes d’adhésion ont été présentés. Sur ce dernier point, une méthode innovante permettant de distinguer un fort niveau d’adhésion d’un faible a aussi été introduite.
Type de contenu : Texte
Format : PDF
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Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-957
Type de ressource : Thèse
Type de ressource : Thèse