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Réalisation de prototypes pour microsystèmes incluant des micro-transducteurs à base de polymère conducteur pour des applications dans la santé (Document en Français)
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  • https://ged.uphf.fr/nuxeo/site/esupversions/2ff2fef7-e67c-43e8-a01e-e40e370cb8ecLien brisé : nonDroits d'accès : non autorisé
Droits d'auteur : Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse soumise à l'embargo de l'auteur jusqu'au 24/12/2021 (communication intranet).
Informations sur les contributeurs
Auteur : Seurre Lauréline
Seurre, Lauréline

Nom
Seurre

Prénom
Lauréline

Nationalité
Français



Date de soutenance : 24-06-2021

Directeur(s) de thèse : Cattan Eric
Cattan, Eric

Nom
Cattan

Prénom
Eric


- Soyer Caroline
Soyer, Caroline

Nom
Soyer

Prénom
Caroline



Président du jury : Lissorgues Gaëlle
Lissorgues, Gaëlle

Nom
Lissorgues

Prénom
Gaëlle



Membres du jury : Cattan Eric
Cattan, Eric

Nom
Cattan

Prénom
Eric


- Soyer Caroline
Soyer, Caroline

Nom
Soyer

Prénom
Caroline


- Buchaillot Lionel
Buchaillot, Lionel

Nom
Buchaillot

Prénom
Lionel


- Khaldi Alexandre
Khaldi, Alexandre

Nom
Khaldi

Prénom
Alexandre


- Le Bihan France
Le Bihan, France

Nom
Le Bihan

Prénom
France


- Tran Van François
Tran Van, François

Nom
Tran Van

Prénom
François


- Plesse Cédric
Plesse, Cédric

Nom
Plesse

Prénom
Cédric



Rapporteurs : Le Bihan France
Le Bihan, France

Nom
Le Bihan

Prénom
France


- Tran Van François
Tran Van, François

Nom
Tran Van

Prénom
François




Laboratoire : Institut d'électronique, de micro-éléctronique et de nanotechnologie-Dpt d'opto-acousto-électronique partenaireRecherche_1 138736421 IEMN/OAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
 
Informations générales
Discipline : Micro et nanotechnologies, acoustiques et télécommunications
Classification : Sciences de l'ingénieur

Mots-clés : Micro-transducteursPolymères conducteurs électroniquesMicro-fabrication
Conducteurs organiques --Transducteurs --Microtechniques --

Résumé : Les polymères conducteurs électroniques (PCE) ont la capacité de se contracter et s’étendre de manière réversible en volume et/ou longueur en réponse à une stimulation extérieure, ce qui leur a valu le nom de « muscle artificiel ». Ces actionneurs peuvent également générer un signal électrique en réponse à une stimulation mécanique. Ils sont donc à la fois actionneurs et capteurs. Ces matériaux actifs représentent ainsi des candidats prometteurs pour le développement de systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS) souples. Cette thèse consiste à développer et caractériser des micro-transducteurs à base de PCE pour la réalisation de microsystèmes sur supports souples. Pour répondre aux besoins de certaines applications, telle que la micro-robotique pour la saisie d’un objet par un micromanipulateur, des microactionneurs, avant intégration, ont été caractérisés en terme de déformation et de force par l’application d’une tension continue. L’étude de la dynamique d’actionnement fournit des résultats cruciaux pour améliorer la compréhension du matériau, et permettre de modéliser son fonctionnement afin de réaliser ensuite un contrôle des micro-transducteurs adéquat pour l’application visée. Les techniques de micro-fabrication, telles que la photolithographie et la gravure sèche, ont été adaptées afin de mettre en forme les actionneurs à l’échelle submillimétrique pour l’élaboration de démonstrateurs sur support souple, incluant les contacts électriques. Le procédé de micro-fabrication mis au point permet la mise en forme des micro-transducteurs dans des configurations complexes. Les deux démonstrateurs élaborés sont : un micro-capteur multicanaux et un micromanipulateur incluant trois doigts et un poignet, afin de disposer dans le futur d’un retour haptique. Les effets induits par chacune des étapes du procédé d’intégration sont observés. En effet, chaque étape de micro-fabrication peut avoir un impact sur les matériaux présents sur la plaquette de silicium. Cette étude est particulièrement intéressante pour déterminer les potentiels impacts sur les microtransducteurs et de ce fait, sur leur capacité à assurer leur fonction d’actionneur et de capteur, qui est ensuite étudiée et comparée à celles des micro-transducteurs non intégrés.
 
Informations techniques
Type de contenu : Texte
Format : PDF
 
Informations complémentaires
Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-2903
Type de ressource : Thèse