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Modélisation et planification des outils multi-clusters dans un système de fabrication de plaquette de silicium (Document en Anglais)
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  • http://ged.univ-valenciennes.fr/nuxeo/site/esupversions/1a874b11-87ba-468d-9492-51040fd9ff46Lien brisé : nonDroits d'accès : non autorisé
Droits d'auteur : Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
Informations sur les contributeurs
Auteur : Wang Zhu
Wang, Zhu

Nom
Wang

Prénom
Zhu

Nationalité
CN



Date de soutenance : 22-11-2017

Directeur(s) de thèse : Trentesaux Damien
Trentesaux, Damien

Nom
Trentesaux

Prénom
Damien


- Zhou Binghai
Zhou, Binghai

Nom
Zhou

Prénom
Binghai


- Bekrar Abdelghani
Bekrar, Abdelghani

Nom
Bekrar

Prénom
Abdelghani



Président du jury : Lu Zhiqiang
Lu, Zhiqiang

Nom
Lu

Prénom
Zhiqiang



Membres du jury : Trentesaux Damien
Trentesaux, Damien

Nom
Trentesaux

Prénom
Damien


- Zhou Binghai
Zhou, Binghai

Nom
Zhou

Prénom
Binghai


- Bekrar Abdelghani
Bekrar, Abdelghani

Nom
Bekrar

Prénom
Abdelghani


- Chu Feng
Chu, Feng

Nom
Chu

Prénom
Feng


- Ye Chunming
Ye, Chunming

Nom
Ye

Prénom
Chunming


- Yin Yaobao
Yin, Yaobao

Nom
Yin

Prénom
Yaobao


- Kacem Imed
Kacem, Imed

Nom
Kacem

Prénom
Imed


- Duvivier David
Duvivier, David

Nom
Duvivier

Prénom
David



Rapporteurs : Yin Yaobao
Yin, Yaobao

Nom
Yin

Prénom
Yaobao


- Kacem Imed
Kacem, Imed

Nom
Kacem

Prénom
Imed




Laboratoire : Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique Industrielles et Humaines - LAMIH
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
 
Informations générales
Discipline : Automatique. Automatique, génie informatique
Classification : Sciences de l'ingénieur

Mots-clés : OrdonnancementOutils multi-clustersFlux de plaquettes de siliciumHeuristiqueModèle robut
Silicium -- Thèses et écrits académiquesOrdonnancement (gestion) -- Thèses et écrits académiquesFabrication, Systèmes flexibles de -- Thèses et écrits académiques

Résumé : Le système de fabrication des plaquettes de silicium (wafer) est la partie la plus complexe et la plus coûteuse du processus de fabrication des semi-conducteurs et son ordonnancement pour la production a un impact significatif sur la rentabilité économique. Le système d’outils Multi-cluster pour la fabrication de plaquettes est un système de type multi-boucles, largement utilisé dans la fabrication de plaquettes de 300 mm et 450 mm. Le problème d’ordonnancement dans ce système de production présente des caractéristiques pour les modèles de flux de plaquettes compliqué, des contraintes résidentielles strictes et des conflits de ressources à gérer, ce qui rend le problème très complexe. Dans cette thèse, l'outil multi-cluster est étudié et les recherches se concentrent principalement sur les caractéristiques des contraintes sur le temps de séjour, les contraintes sur les ressources utilisés et les flux plaquettes de silicium. Plus particulièrement, cette thèse traite trois problèmes d'ordonnancement: le problème d'ordonnancement cyclique unitaire pour un flux unique de plaquettes, le problème d'ordonnancement cyclique multi-unitaires dans un modèle de flux unique de plaquettes et le problème d'ordonnancement non-cyclique. Pour résoudre ces problèmes, des modèles robustes sont développés ainsi que certains algorithmes heuristiques efficaces sont construits pour atteindre les objectifs. L'objectif principal étant d'améliorer la performance des outils multi-cluster et d'augmenter le rendement des flux des plaquettes de silicium. Des tests de simulation et des analyses sont effectuées afin d’évaluer la performance des algorithmes proposés. Les résultats montrent la stabilité et l'efficacité de ces algorithmes.
 
Informations techniques
Type de contenu : Texte
Format : PDF
 
Informations complémentaires
Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-2473
Type de ressource : Thèse