Modélisation et planification des outils multi-clusters dans un système de fabrication de plaquette de silicium (Document en Anglais)
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Modalités de diffusion de la thèse :
Modalités de diffusion de la thèse :
Auteur : Wang Zhu
Date de soutenance : 22-11-2017
Directeur(s) de thèse : Trentesaux Damien
- Zhou Binghai
- Bekrar Abdelghani
Président du jury : Lu Zhiqiang
Membres du jury : Trentesaux Damien
- Zhou Binghai
- Bekrar Abdelghani
- Chu Feng
- Ye Chunming
- Yin Yaobao
- Kacem Imed
- Duvivier David
Rapporteurs : Yin Yaobao
- Kacem Imed
Laboratoire : Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique Industrielles et Humaines - LAMIH
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Wang, Zhu
Nom
Wang
Prénom
Zhu
Nationalité
CN
Date de soutenance : 22-11-2017
Directeur(s) de thèse : Trentesaux Damien
Trentesaux, Damien
Nom
Trentesaux
Prénom
Damien
Zhou, Binghai
Nom
Zhou
Prénom
Binghai
Bekrar, Abdelghani
Nom
Bekrar
Prénom
Abdelghani
Président du jury : Lu Zhiqiang
Lu, Zhiqiang
Nom
Lu
Prénom
Zhiqiang
Membres du jury : Trentesaux Damien
Trentesaux, Damien
Nom
Trentesaux
Prénom
Damien
Zhou, Binghai
Nom
Zhou
Prénom
Binghai
Bekrar, Abdelghani
Nom
Bekrar
Prénom
Abdelghani
Chu, Feng
Nom
Chu
Prénom
Feng
Ye, Chunming
Nom
Ye
Prénom
Chunming
Yin, Yaobao
Nom
Yin
Prénom
Yaobao
Kacem, Imed
Nom
Kacem
Prénom
Imed
Duvivier, David
Nom
Duvivier
Prénom
David
Rapporteurs : Yin Yaobao
Yin, Yaobao
Nom
Yin
Prénom
Yaobao
Kacem, Imed
Nom
Kacem
Prénom
Imed
Laboratoire : Laboratoire d'Automatique, de Mécanique et d'Informatique Industrielles et Humaines - LAMIH
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Discipline : Automatique. Automatique, génie informatique
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : OrdonnancementOutils multi-clustersFlux de plaquettes de siliciumHeuristiqueModèle robut
Silicium -- Thèses et écrits académiquesOrdonnancement (gestion) -- Thèses et écrits académiquesFabrication, Systèmes flexibles de -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Le système de fabrication des plaquettes de silicium (wafer) est la partie la plus complexe et la plus coûteuse du processus de fabrication des semi-conducteurs et son ordonnancement pour la production a un impact significatif sur la rentabilité économique. Le système d’outils Multi-cluster pour la fabrication de plaquettes est un système de type multi-boucles, largement utilisé dans la fabrication de plaquettes de 300 mm et 450 mm. Le problème d’ordonnancement dans ce système de production présente des caractéristiques pour les modèles de flux de plaquettes compliqué, des contraintes résidentielles strictes et des conflits de ressources à gérer, ce qui rend le problème très complexe. Dans cette thèse, l'outil multi-cluster est étudié et les recherches se concentrent principalement sur les caractéristiques des contraintes sur le temps de séjour, les contraintes sur les ressources utilisés et les flux plaquettes de silicium. Plus particulièrement, cette thèse traite trois problèmes d'ordonnancement: le problème d'ordonnancement cyclique unitaire pour un flux unique de plaquettes, le problème d'ordonnancement cyclique multi-unitaires dans un modèle de flux unique de plaquettes et le problème d'ordonnancement non-cyclique. Pour résoudre ces problèmes, des modèles robustes sont développés ainsi que certains algorithmes heuristiques efficaces sont construits pour atteindre les objectifs. L'objectif principal étant d'améliorer la performance des outils multi-cluster et d'augmenter le rendement des flux des plaquettes de silicium. Des tests de simulation et des analyses sont effectuées afin d’évaluer la performance des algorithmes proposés. Les résultats montrent la stabilité et l'efficacité de ces algorithmes.
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : OrdonnancementOutils multi-clustersFlux de plaquettes de siliciumHeuristiqueModèle robut
Silicium -- Thèses et écrits académiquesOrdonnancement (gestion) -- Thèses et écrits académiquesFabrication, Systèmes flexibles de -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Le système de fabrication des plaquettes de silicium (wafer) est la partie la plus complexe et la plus coûteuse du processus de fabrication des semi-conducteurs et son ordonnancement pour la production a un impact significatif sur la rentabilité économique. Le système d’outils Multi-cluster pour la fabrication de plaquettes est un système de type multi-boucles, largement utilisé dans la fabrication de plaquettes de 300 mm et 450 mm. Le problème d’ordonnancement dans ce système de production présente des caractéristiques pour les modèles de flux de plaquettes compliqué, des contraintes résidentielles strictes et des conflits de ressources à gérer, ce qui rend le problème très complexe. Dans cette thèse, l'outil multi-cluster est étudié et les recherches se concentrent principalement sur les caractéristiques des contraintes sur le temps de séjour, les contraintes sur les ressources utilisés et les flux plaquettes de silicium. Plus particulièrement, cette thèse traite trois problèmes d'ordonnancement: le problème d'ordonnancement cyclique unitaire pour un flux unique de plaquettes, le problème d'ordonnancement cyclique multi-unitaires dans un modèle de flux unique de plaquettes et le problème d'ordonnancement non-cyclique. Pour résoudre ces problèmes, des modèles robustes sont développés ainsi que certains algorithmes heuristiques efficaces sont construits pour atteindre les objectifs. L'objectif principal étant d'améliorer la performance des outils multi-cluster et d'augmenter le rendement des flux des plaquettes de silicium. Des tests de simulation et des analyses sont effectuées afin d’évaluer la performance des algorithmes proposés. Les résultats montrent la stabilité et l'efficacité de ces algorithmes.
Type de contenu : Texte
Format : PDF
Format : PDF
Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-2473
Type de ressource : Thèse
Type de ressource : Thèse