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Caractérisation du mouillage de surfaces micro/nanostructurées par méthode acoustique haute fréquence : application aux traitements humides dans l'industrie de la microélectronique (Document en Français)
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Droits d'auteur : Ce document est protégé en vertu du Code de la Propriété Intellectuelle.

Modalités de diffusion de la thèse :
  • Thèse consultable sur internet, en texte intégral.
Informations sur les contributeurs
Auteur : Virgilio Christophe
Virgilio, Christophe

Nom
Virgilio

Prénom
Christophe

Nationalité
Français



Date de soutenance : 30-05-2017

Directeur(s) de thèse : Nongaillard Bertrand
Nongaillard, Bertrand

Nom
Nongaillard

Prénom
Bertrand


- Broussous Lucile
Broussous, Lucile

Nom
Broussous

Prénom
Lucile


- Campistron Pierre
Campistron, Pierre

Nom
Campistron

Prénom
Pierre


- Carlier Julien
Carlier, Julien

Nom
Carlier

Prénom
Julien



Président du jury : Nadi Mustapha
Nadi, Mustapha

Nom
Nadi

Prénom
Mustapha



Membres du jury : Nongaillard Bertrand
Nongaillard, Bertrand

Nom
Nongaillard

Prénom
Bertrand


- Broussous Lucile
Broussous, Lucile

Nom
Broussous

Prénom
Lucile


- Campistron Pierre
Campistron, Pierre

Nom
Campistron

Prénom
Pierre


- Carlier Julien
Carlier, Julien

Nom
Carlier

Prénom
Julien


- Vonna Laurent
Vonna, Laurent

Nom
Vonna

Prénom
Laurent


- Charlaix Elisabeth
Charlaix, Elisabeth

Nom
Charlaix

Prénom
Elisabeth


- Le Clezio Emmanuel
Le Clézio, Emmanuel

Nom
Le Clézio

Prénom
Emmanuel


- Garnier Philippe
Garnier, Philippe

Nom
Garnier

Prénom
Philippe


- Thomy Vincent
Thomy, Vincent

Nom
Thomy

Prénom
Vincent



Rapporteurs : Charlaix Elisabeth
Charlaix, Elisabeth

Nom
Charlaix

Prénom
Elisabeth


- Le Clezio Emmanuel
Le Clézio, Emmanuel

Nom
Le Clézio

Prénom
Emmanuel




Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
 
Informations générales
Discipline : Électronique. Micro et nano technologie
Classification : Sciences de l'ingénieur

Mots-clés : AcoustiquemouillabilitéSurfaces structuréesMicrosystèmesMicroélectronique
Mouillage (chimie des surfaces) -- Thèses et écrits académiquesSpectroscopie de réflectance -- Thèses et écrits académiquesTransducteurs piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesOndes sonores -- Thèses et écrits académiques

Résumé : L’augmentation de la densité d’intégration de composants électroniques (CMOS, FDSOI 14 nm, mémoires flash) et le développement de nouveaux dispositifs (capteurs d’images, composants photoniques) font émerger de nouveaux problèmes de fabrication des puces dans l’industrie de la microélectronique. L’efficacité des procédés humides de gravure et de nettoyage de la surface structurée des composants peut être limitée par un mouillage incomplet des micro/nanostructures dont les dimensions chutent alors que les rapports d’aspect augmentent fortement. L’état de mouillage et les cinétiques de remplissage des micro/nanostructures constituent alors deux paramètres clés pour adapter au mieux les procédés humides. Ce travail de thèse, réalisé en collaboration avec STMicroelectronics, présente une méthode acoustique originale de réflectométrie haute fréquence appliquée à la caractérisation du mouillage de surfaces structurées industrielles aux échelles micrométriques (vias) et nanométriques (tranchées profondes d’isolation de pixels, contacts de transistors CMOS). Deux modèles acoustiques ont été développés : un modèle numérique par différences finies et un modèle analytique basé sur la diffraction. Ils nous ont permis de mieux comprendre le comportement de l’onde acoustique dans les micro/nanostructures et d’interpréter les mesures expérimentales de mouillage. Nous avons alors déterminé localement l’état de mouillage des structures (état Wenzel, Cassie, composites) et détecté l’imprégnation de surfaces initialement non-mouillantes par abaissement de la tension superficielle des liquides. La cinétique de remplissage de vias micrométriques a aussi pu être mesurée.
 
Informations techniques
Type de contenu : Texte
Format : PDF
 
Informations complémentaires
Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-2257
Type de ressource : Thèse