Caractérisation du mouillage de surfaces micro/nanostructurées par méthode acoustique haute fréquence : application aux traitements humides dans l'industrie de la microélectronique (Document en Français)
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Modalités de diffusion de la thèse :
Modalités de diffusion de la thèse :
Auteur : Virgilio Christophe
Date de soutenance : 30-05-2017
Directeur(s) de thèse : Nongaillard Bertrand
- Broussous Lucile
- Campistron Pierre
- Carlier Julien
Président du jury : Nadi Mustapha
Membres du jury : Nongaillard Bertrand
- Broussous Lucile
- Campistron Pierre
- Carlier Julien
- Vonna Laurent
- Charlaix Elisabeth
- Le Clezio Emmanuel
- Garnier Philippe
- Thomy Vincent
Rapporteurs : Charlaix Elisabeth
- Le Clezio Emmanuel
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Virgilio, Christophe
Nom
Virgilio
Prénom
Christophe
Nationalité
Français
Date de soutenance : 30-05-2017
Directeur(s) de thèse : Nongaillard Bertrand
Nongaillard, Bertrand
Nom
Nongaillard
Prénom
Bertrand
Broussous, Lucile
Nom
Broussous
Prénom
Lucile
Campistron, Pierre
Nom
Campistron
Prénom
Pierre
Carlier, Julien
Nom
Carlier
Prénom
Julien
Président du jury : Nadi Mustapha
Nadi, Mustapha
Nom
Nadi
Prénom
Mustapha
Membres du jury : Nongaillard Bertrand
Nongaillard, Bertrand
Nom
Nongaillard
Prénom
Bertrand
Broussous, Lucile
Nom
Broussous
Prénom
Lucile
Campistron, Pierre
Nom
Campistron
Prénom
Pierre
Carlier, Julien
Nom
Carlier
Prénom
Julien
Vonna, Laurent
Nom
Vonna
Prénom
Laurent
Charlaix, Elisabeth
Nom
Charlaix
Prénom
Elisabeth
Le Clézio, Emmanuel
Nom
Le Clézio
Prénom
Emmanuel
Garnier, Philippe
Nom
Garnier
Prénom
Philippe
Thomy, Vincent
Nom
Thomy
Prénom
Vincent
Rapporteurs : Charlaix Elisabeth
Charlaix, Elisabeth
Nom
Charlaix
Prénom
Elisabeth
Le Clézio, Emmanuel
Nom
Le Clézio
Prénom
Emmanuel
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Discipline : Électronique. Micro et nano technologie
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : AcoustiquemouillabilitéSurfaces structuréesMicrosystèmesMicroélectronique
Mouillage (chimie des surfaces) -- Thèses et écrits académiquesSpectroscopie de réflectance -- Thèses et écrits académiquesTransducteurs piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesOndes sonores -- Thèses et écrits académiques
Résumé : L’augmentation de la densité d’intégration de composants électroniques (CMOS, FDSOI 14 nm, mémoires flash) et le développement de nouveaux dispositifs (capteurs d’images, composants photoniques) font émerger de nouveaux problèmes de fabrication des puces dans l’industrie de la microélectronique. L’efficacité des procédés humides de gravure et de nettoyage de la surface structurée des composants peut être limitée par un mouillage incomplet des micro/nanostructures dont les dimensions chutent alors que les rapports d’aspect augmentent fortement. L’état de mouillage et les cinétiques de remplissage des micro/nanostructures constituent alors deux paramètres clés pour adapter au mieux les procédés humides. Ce travail de thèse, réalisé en collaboration avec STMicroelectronics, présente une méthode acoustique originale de réflectométrie haute fréquence appliquée à la caractérisation du mouillage de surfaces structurées industrielles aux échelles micrométriques (vias) et nanométriques (tranchées profondes d’isolation de pixels, contacts de transistors CMOS). Deux modèles acoustiques ont été développés : un modèle numérique par différences finies et un modèle analytique basé sur la diffraction. Ils nous ont permis de mieux comprendre le comportement de l’onde acoustique dans les micro/nanostructures et d’interpréter les mesures expérimentales de mouillage. Nous avons alors déterminé localement l’état de mouillage des structures (état Wenzel, Cassie, composites) et détecté l’imprégnation de surfaces initialement non-mouillantes par abaissement de la tension superficielle des liquides. La cinétique de remplissage de vias micrométriques a aussi pu être mesurée.
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : AcoustiquemouillabilitéSurfaces structuréesMicrosystèmesMicroélectronique
Mouillage (chimie des surfaces) -- Thèses et écrits académiquesSpectroscopie de réflectance -- Thèses et écrits académiquesTransducteurs piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesOndes sonores -- Thèses et écrits académiques
Résumé : L’augmentation de la densité d’intégration de composants électroniques (CMOS, FDSOI 14 nm, mémoires flash) et le développement de nouveaux dispositifs (capteurs d’images, composants photoniques) font émerger de nouveaux problèmes de fabrication des puces dans l’industrie de la microélectronique. L’efficacité des procédés humides de gravure et de nettoyage de la surface structurée des composants peut être limitée par un mouillage incomplet des micro/nanostructures dont les dimensions chutent alors que les rapports d’aspect augmentent fortement. L’état de mouillage et les cinétiques de remplissage des micro/nanostructures constituent alors deux paramètres clés pour adapter au mieux les procédés humides. Ce travail de thèse, réalisé en collaboration avec STMicroelectronics, présente une méthode acoustique originale de réflectométrie haute fréquence appliquée à la caractérisation du mouillage de surfaces structurées industrielles aux échelles micrométriques (vias) et nanométriques (tranchées profondes d’isolation de pixels, contacts de transistors CMOS). Deux modèles acoustiques ont été développés : un modèle numérique par différences finies et un modèle analytique basé sur la diffraction. Ils nous ont permis de mieux comprendre le comportement de l’onde acoustique dans les micro/nanostructures et d’interpréter les mesures expérimentales de mouillage. Nous avons alors déterminé localement l’état de mouillage des structures (état Wenzel, Cassie, composites) et détecté l’imprégnation de surfaces initialement non-mouillantes par abaissement de la tension superficielle des liquides. La cinétique de remplissage de vias micrométriques a aussi pu être mesurée.
Type de contenu : Texte
Format : PDF
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Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-2257
Type de ressource : Thèse
Type de ressource : Thèse