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Fiche descriptive
Films piézoélectriques sans plomb par une approche sol gel et applications potentielles dans les MEMS (Document en Français)
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Modalités de diffusion de la thèse :
Modalités de diffusion de la thèse :
Auteur : Abou Dargham Sara
Date de soutenance : 16-12-2016
Directeur(s) de thèse : Remiens Denis
- Zaouk Doumit
- Ponchel Freddy
- Zaatar Youssef
Président du jury : Tabbal Malek
Membres du jury : Remiens Denis
- Zaouk Doumit
- Ponchel Freddy
- Zaatar Youssef
- Assaad Jamal
- Abboud Marie
- Lemée Nathalie
- Guiffard Benoît
- Abboud Nadine
Rapporteurs : Tabbal Malek
- Guiffard Benoît
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Abou Dargham, Sara
Nom
Abou Dargham
Prénom
Sara
Nationalité
LB
Date de soutenance : 16-12-2016
Directeur(s) de thèse : Remiens Denis
Remiens, Denis
Nom
Remiens
Prénom
Denis
Zaouk, Doumit
Nom
Zaouk
Prénom
Doumit
Ponchel, Freddy
Nom
Ponchel
Prénom
Freddy
Zaatar, Youssef
Nom
Zaatar
Prénom
Youssef
Président du jury : Tabbal Malek
Tabbal, Malek
Nom
Tabbal
Prénom
Malek
Membres du jury : Remiens Denis
Remiens, Denis
Nom
Remiens
Prénom
Denis
Zaouk, Doumit
Nom
Zaouk
Prénom
Doumit
Ponchel, Freddy
Nom
Ponchel
Prénom
Freddy
Zaatar, Youssef
Nom
Zaatar
Prénom
Youssef
Assaad, Jamal
Nom
Assaad
Prénom
Jamal
Abboud, Marie
Nom
Abboud
Prénom
Marie
Lemée, Nathalie
Nom
Lemée
Prénom
Nathalie
Guiffard, Benoît
Nom
Guiffard
Prénom
Benoît
Abboud, Nadine
Nom
Abboud
Prénom
Nadine
Rapporteurs : Tabbal Malek
Tabbal, Malek
Nom
Tabbal
Prénom
Malek
Guiffard, Benoît
Nom
Guiffard
Prénom
Benoît
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Discipline : Électronique. Micro et nano technologie
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : PiézoélectriqueFerroélectriqueSans-plombcouches mincesSol-GelBNT.
Sol-gel, Procédé -- Thèses et écrits académiquesMatériaux piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesFerroélectricité -- Thèses et écrits académiquesDiélectriques -- Thèses et écrits académiquesSilicium -- Substrats -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Les composés à base du plomb sont très utilisés dans l'industrie microélectronique en raison de leurs propriétés ferroélectriques et piézoélectriques. Cependant, en raison de la toxicité du plomb, la recherche est dirigée vers le développement des matériaux piézoélectriques « écologiques » (sans plomb). L’objectif de ce travail consiste donc à synthétiser par procédé sol-gel un matériau piézoélectrique écologique : le Bi0.5Na0.5TiO3 (BNT). Les films minces ont été déposés à l’aide d’une tournette sur des substrats de Pt/TiOx/SiO2/Si. Une étape de séchage sur plaque est appliquée à 100ºC après chaque dépôt. L’utilisation du procédé thermique rapide (RTP) permet la densification et la cristallisation de BNT. Ainsi une pyrolyse est appliquée après le séchage pour densifier le film ; la température a été fixée à 200ºC. Enfin un recuit à 700ºC a permis la cristallisation des films dans la structure pérovskite. Les résultats de caractérisations électriques macroscopiques ainsi que les caractérisations à l’échelle locale ont mis en évidence des performances diélectrique, ferroélectrique et piézoélectrique encourageantes.
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : PiézoélectriqueFerroélectriqueSans-plombcouches mincesSol-GelBNT.
Sol-gel, Procédé -- Thèses et écrits académiquesMatériaux piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesFerroélectricité -- Thèses et écrits académiquesDiélectriques -- Thèses et écrits académiquesSilicium -- Substrats -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Les composés à base du plomb sont très utilisés dans l'industrie microélectronique en raison de leurs propriétés ferroélectriques et piézoélectriques. Cependant, en raison de la toxicité du plomb, la recherche est dirigée vers le développement des matériaux piézoélectriques « écologiques » (sans plomb). L’objectif de ce travail consiste donc à synthétiser par procédé sol-gel un matériau piézoélectrique écologique : le Bi0.5Na0.5TiO3 (BNT). Les films minces ont été déposés à l’aide d’une tournette sur des substrats de Pt/TiOx/SiO2/Si. Une étape de séchage sur plaque est appliquée à 100ºC après chaque dépôt. L’utilisation du procédé thermique rapide (RTP) permet la densification et la cristallisation de BNT. Ainsi une pyrolyse est appliquée après le séchage pour densifier le film ; la température a été fixée à 200ºC. Enfin un recuit à 700ºC a permis la cristallisation des films dans la structure pérovskite. Les résultats de caractérisations électriques macroscopiques ainsi que les caractérisations à l’échelle locale ont mis en évidence des performances diélectrique, ferroélectrique et piézoélectrique encourageantes.
Type de contenu : Texte
Format : PDF
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Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-2167
Type de ressource : Thèse
Type de ressource : Thèse