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Développement d'une technique à double Chirp spatio-temporel basée sur des capteurs SAW-IDT : application à la caractérisation de couches minces et de revêtements fonctionnels (Document en Français)
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Modalités de diffusion de la thèse :
Modalités de diffusion de la thèse :
Auteur : Fall Dame
Date de soutenance : 25-04-2016
Directeur(s) de thèse : Duquennoy Marc
- Ouaftouh Mohammadi
- Piwakowski Bogdan
Président du jury : Feuillard Guy
Membres du jury : Duquennoy Marc
- Ouaftouh Mohammadi
- Piwakowski Bogdan
- Herth Étienne
- Piombini Hervé
- Serfaty Stéphane
Rapporteurs : Feuillard Guy
- Serfaty Stéphane
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Fall, Dame
Nom
Fall
Prénom
Dame
Nationalité
SN
Date de soutenance : 25-04-2016
Directeur(s) de thèse : Duquennoy Marc
Duquennoy, Marc
Nom
Duquennoy
Prénom
Marc
Ouaftouh, Mohammadi
Nom
Ouaftouh
Prénom
Mohammadi
Piwakowski, Bogdan
Nom
Piwakowski
Prénom
Bogdan
Président du jury : Feuillard Guy
Feuillard, Guy
Nom
Feuillard
Prénom
Guy
Membres du jury : Duquennoy Marc
Duquennoy, Marc
Nom
Duquennoy
Prénom
Marc
Ouaftouh, Mohammadi
Nom
Ouaftouh
Prénom
Mohammadi
Piwakowski, Bogdan
Nom
Piwakowski
Prénom
Bogdan
Herth, Étienne
Nom
Herth
Prénom
Étienne
Piombini, Hervé
Nom
Piombini
Prénom
Hervé
Serfaty, Stéphane
Nom
Serfaty
Prénom
Stéphane
Rapporteurs : Feuillard Guy
Feuillard, Guy
Nom
Feuillard
Prénom
Guy
Serfaty, Stéphane
Nom
Serfaty
Prénom
Stéphane
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Discipline : Électronique. Acoustique et télécommunications
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Caractérisation ultrasonoreOndes de surfaceContrôle non destructifTransducteur interdigitéCouche sur substrat
Ondes acoustiques de surface -- Thèses et écrits académiquesMatériaux piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesSol-gel, Procédé -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Ce travail rentre dans le cadre de la caractérisation des couches minces, de revêtements et de surfaces fonctionnelles (épaisseur, constantes élastiques,…). Parmi les méthodes de caractérisation potentielles, les méthodes ultrasonores employant des ondes de surface sont particulièrement intéressantes. Pour ce faire, nous avons choisi d’exploiter la dispersion des ondes de surface de type Rayleigh. En effet, les ondes acoustiques de surface (SAW) de type Rayleigh se propagent à la surface d’un matériau et l’énergie véhiculée par ces ondes est confinée sous la surface dans une couche d’épaisseur de l’ordre d’une longueur d’onde. Afin de caractériser ces revêtements, il est nécessaire de travailler sur une large gamme de fréquences. D’autre part, ces couches peuvent être fragiles et transparentes, c’est pourquoi, des transducteurs interdigités (IDT) sont envisagés. Pour optimiser ce type de capteurs, et en particulier leur bande passante, il est nécessaire d’étudier différentes configurations sachant qu’il est notamment possible de faire varier le nombre d’électrodes, les dimensions des électrodes, leurs formes et leurs espacements. Enfin, pour exciter ces ondes de surface dans une large gamme de fréquence avec des niveaux de déplacement suffisants pour la caractérisation des couches minces et revêtements, la technique à double Chirp spatio-temporel basée sur des transducteurs SAW-IDT a été privilégiée. Nous avons montré les potentialités de cette approche en caractérisant premièrement des structures à couche mince métalliques d’épaisseurs de 100 nm et plus, et deuxièmement des revêtements transparents de type sol-gel.
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : Caractérisation ultrasonoreOndes de surfaceContrôle non destructifTransducteur interdigitéCouche sur substrat
Ondes acoustiques de surface -- Thèses et écrits académiquesMatériaux piézoélectriques -- Thèses et écrits académiquesSol-gel, Procédé -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Ce travail rentre dans le cadre de la caractérisation des couches minces, de revêtements et de surfaces fonctionnelles (épaisseur, constantes élastiques,…). Parmi les méthodes de caractérisation potentielles, les méthodes ultrasonores employant des ondes de surface sont particulièrement intéressantes. Pour ce faire, nous avons choisi d’exploiter la dispersion des ondes de surface de type Rayleigh. En effet, les ondes acoustiques de surface (SAW) de type Rayleigh se propagent à la surface d’un matériau et l’énergie véhiculée par ces ondes est confinée sous la surface dans une couche d’épaisseur de l’ordre d’une longueur d’onde. Afin de caractériser ces revêtements, il est nécessaire de travailler sur une large gamme de fréquences. D’autre part, ces couches peuvent être fragiles et transparentes, c’est pourquoi, des transducteurs interdigités (IDT) sont envisagés. Pour optimiser ce type de capteurs, et en particulier leur bande passante, il est nécessaire d’étudier différentes configurations sachant qu’il est notamment possible de faire varier le nombre d’électrodes, les dimensions des électrodes, leurs formes et leurs espacements. Enfin, pour exciter ces ondes de surface dans une large gamme de fréquence avec des niveaux de déplacement suffisants pour la caractérisation des couches minces et revêtements, la technique à double Chirp spatio-temporel basée sur des transducteurs SAW-IDT a été privilégiée. Nous avons montré les potentialités de cette approche en caractérisant premièrement des structures à couche mince métalliques d’épaisseurs de 100 nm et plus, et deuxièmement des revêtements transparents de type sol-gel.
Type de contenu : Texte
Format : PDF
Format : PDF
Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-1979
Type de ressource : Thèse
Type de ressource : Thèse