Caractérisations diélectriques très large bande de films minces ferroélectriques de BaxSr(1-x)TiO3 pour des applications de reconfigurabilité de dispositifs hyperfréquences (Document en Français)
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Modalités de diffusion de la thèse :
Modalités de diffusion de la thèse :
Auteur : Ghalem Areski
Date de soutenance : 10-12-2014
Directeur(s) de thèse : Remiens Denis
- Lasri Tuami
Président du jury : Dogheche Elhadj
Membres du jury : Remiens Denis
- Lasri Tuami
- Pham Thi Mai
- Lecoeur Philippe
- Li Hongwu
Rapporteurs : Lecoeur Philippe
- Li Hongwu
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Ghalem, Areski
Nom
Ghalem
Prénom
Areski
Nationalité
Français
Date de soutenance : 10-12-2014
Directeur(s) de thèse : Remiens Denis
Remiens, Denis
Nom
Remiens
Prénom
Denis
Lasri, Tuami
Nom
Lasri
Prénom
Tuami
Président du jury : Dogheche Elhadj
Dogheche, Elhadj
Nom
Dogheche
Prénom
Elhadj
Membres du jury : Remiens Denis
Remiens, Denis
Nom
Remiens
Prénom
Denis
Lasri, Tuami
Nom
Lasri
Prénom
Tuami
Pham Thi, Mai
Nom
Pham Thi
Prénom
Mai
Lecoeur, Philippe
Nom
Lecoeur
Prénom
Philippe
Li, Hongwu
Nom
Li
Prénom
Hongwu
Rapporteurs : Lecoeur Philippe
Lecoeur, Philippe
Nom
Lecoeur
Prénom
Philippe
Li, Hongwu
Nom
Li
Prénom
Hongwu
Laboratoire : Département Opto-Acousto-Electronique de l'IEMN - IEMN-DOAE
Ecole doctorale : Sciences pour l'ingénieur (SPI)
Discipline : Électronique. Micro et nano technologie
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : BSTaccordabilitéDispositifs microondesRésonateursStructure coplanaireCapacité interdigitéeFilms ferroélectriquesCouches minces.
Dispositifs à microondes -- Thèses et écrits académiquesCouches minces ferroélectriques -- Thèses et écrits académiquesPulvérisation cathodique -- Applications industrielles -- Thèses et écrits académiquesPermittivité -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Ce travail de thèse s’inscrit dans le cadre de l’intégration des films minces ferroélectriques de BaxSr(1-x)TiO3 au sein de dispositifs microondes. Dans un premier temps, les caractéristiques diélectriques des films de B0.3S0.7TiO3 déposés par pulvérisation cathodique ont été déterminées. Il a été mis en évidence l’intérêt d’une couche tampon dans le contrôle de l’orientation des films ainsi que son impact dans l’évolution des propriétés diélectriques. L’utilisation d’une structure coplanaire optimisée a été utilisée dans le but de déterminer les évolutions fréquentielles de la permittivité, des pertes ainsi que de l’accordabilité jusqu’à 67 GHz. La caractérisation du matériau a permis la réalisation et la qualification de l’élément de base dans la conception de dispositifs microondes accordables : la capacité ferroélectrique. Le phénomène d’agilité a été mis en exergue au sein de cette structure. Par la suite, une analyse complète a été menée sur un dispositif de type résonateur. Une étude analytique couplée à la réalisation de démonstrateur a permis de mettre en évidence la configuration nous permettant d’exploiter au mieux les propriétés des films de BST.
Classification : Sciences de l'ingénieur
Mots-clés : BSTaccordabilitéDispositifs microondesRésonateursStructure coplanaireCapacité interdigitéeFilms ferroélectriquesCouches minces.
Dispositifs à microondes -- Thèses et écrits académiquesCouches minces ferroélectriques -- Thèses et écrits académiquesPulvérisation cathodique -- Applications industrielles -- Thèses et écrits académiquesPermittivité -- Thèses et écrits académiques
Résumé : Ce travail de thèse s’inscrit dans le cadre de l’intégration des films minces ferroélectriques de BaxSr(1-x)TiO3 au sein de dispositifs microondes. Dans un premier temps, les caractéristiques diélectriques des films de B0.3S0.7TiO3 déposés par pulvérisation cathodique ont été déterminées. Il a été mis en évidence l’intérêt d’une couche tampon dans le contrôle de l’orientation des films ainsi que son impact dans l’évolution des propriétés diélectriques. L’utilisation d’une structure coplanaire optimisée a été utilisée dans le but de déterminer les évolutions fréquentielles de la permittivité, des pertes ainsi que de l’accordabilité jusqu’à 67 GHz. La caractérisation du matériau a permis la réalisation et la qualification de l’élément de base dans la conception de dispositifs microondes accordables : la capacité ferroélectrique. Le phénomène d’agilité a été mis en exergue au sein de cette structure. Par la suite, une analyse complète a été menée sur un dispositif de type résonateur. Une étude analytique couplée à la réalisation de démonstrateur a permis de mettre en évidence la configuration nous permettant d’exploiter au mieux les propriétés des films de BST.
Type de contenu : Texte
Format : PDF
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Identifiant : uvhc-ori-oai-wf-1-1861
Type de ressource : Thèse
Type de ressource : Thèse